7月（yuè）9日，由（yóu）中國粉（fěn）體網主（zhǔ）辦的“2024高端研磨拋光材料技術大（dà）會”在河南鄭州成功召開。會議期間，我們邀請到多位專家學者、企業家代表做客“對（duì）話”欄目，圍繞高端研磨拋光材料的技術與應用現狀及發展方向進行了訪談交流（liú）。本（běn）期，我們分享的（de）是（shì）河（hé）南工業大學班新星副（fù）教授的專訪。
班教授：主要包（bāo）括超精密磨削、快速拋光（guāng）、精密修形等。磨削（xuē）的作用是快速（sù）去除毛（máo）坯材料，並使元件達到一定的形狀要求；快速拋光則是消除由於磨削加工引起的表麵和亞表麵損傷，同時進一步提升加工（gōng）精（jīng）度；精密修形的目的是提（tí）升元件的麵形精度，以達到（dào）使用（yòng）的要求。
中國粉體網（wǎng）：請問班教（jiāo）授，光學元件（jiàn）超精密加（jiā）工的難點有哪些？
班（bān）教授：光學元件屬於典型（xíng）的硬（yìng）脆難加工材（cái）料，加工過程中容易產生（shēng）表麵（miàn）和亞表麵損傷，如何有效控製缺陷的形（xíng）成和提升加工精度是當前的難點。
不同的（de）加工工（gōng）藝（yì）方法對缺陷和精度的影響（xiǎng）是不同的。比如，全口徑（jìng）拋光的加工效率高，但對低頻（pín）誤差的控製比較困難（nán），而子口徑拋光能夠提升麵形精度，但效率較低（dī），並（bìng）且容易引起（qǐ）中頻誤差。
中國粉體網：請問班（bān）教授，實（shí）現超精拋光的方法主要有哪些？
班教授：超精密拋（pāo）光方法主要包括：小磨頭數控拋光、氣囊拋光、離子束拋光、磁流變拋光、等離子體拋光、射流拋光等。盡（jìn）管這些方法都能夠實現光學元件最終納米級麵形精度的控製。不過，元件尺寸、材質、形狀不同，所采用的方法（fǎ）也（yě）不一樣。
中國粉體網：請問（wèn）班教授，我國光學超精密加工技術與裝備發展水平如何？
班教授：近年來得到了蓬勃發展，在天文望遠係統、強激光裝置等領域的光學元件製造工藝和裝備實現了自主可（kě）控，但在以光刻物鏡（jìng）為代表的極端精度光學元件超精密加工方麵與（yǔ）國外先進水（shuǐ）平存在（zài）較大的（de）差距。
中國粉體網：請問班教授，您的研究方向主要涉及哪（nǎ）些方麵？
班教授：我的研究（jiū）方（fāng）向主要涉及麵形控製、工藝優化（huà）、設備開（kāi）發等方麵，除了大（dà）口徑平麵光學元件之外，目前也在開展第三代半導體晶圓超精密加（jiā）工方麵的研究工作，從軍品到民品輻射，將先進的加工技術不斷推廣到市場上去，實現工程（chéng）化應用。
