第18屆國際激光加工技術研討（tǎo）會（LPC 2024）將於9月10日（深圳光博會前一天）在深圳深鐵皇冠假（jiǎ）日酒店舉辦。LPC 2024繼續（xù）秉承以推動激光行業（yè）的可持續發展，搭建“產學（xué）研用（yòng）”高度融（róng）合的國際交流平台（tái）為宗旨，匯聚國內外相關科研（yán）院所、高校（xiào）及企業的多位專家大咖，圍繞先進光源和裝備技術、激光微納（nà）製造、激光智能製造、激光賦能（néng）新質生產力以及“光”製造行業的創新發展路徑等主題進行深入探討（tǎo），結合他們最新的研究成果（guǒ）和成功案例分享（xiǎng）全球激光行業（yè）的創新工（gōng）藝、技術（shù）、產品和應用方案，探索前沿技術、破解難（nán）點痛點、驅動熱點應用、把脈未來趨勢、促進產業發展！
演講嘉賓
◎徐少林，南方科技大學副教授
演講題目
◎激光引導各向異性刻蝕—微結構玻璃器件精密加工技術
演講摘要
向（xiàng）下滑動閱覽
表麵微結構化玻璃在（zài）各類光學元件和光電器件中得到（dào）了廣泛應用。然而，現有的精密加工方法通常難以實現高效製造複雜、高自由度的玻璃微結構，這限製了微結構化玻璃元件的應用潛力。徐少林團隊（duì）的研究發現，通過利用激光對玻璃特定區域進行改性（xìng），可局部加速玻璃刻蝕速率（lǜ），打破玻璃固有的各向同性（xìng）刻蝕規律（lǜ），實現沿改性軌跡引導的（de）各向異（yì）性（xìng）刻蝕過程。基於這一（yī）現象，團隊（duì）開發了“激光引導各向異性刻蝕（shí）”技術，用於製備具有（yǒu）銳利特征、光滑表麵以及可調形狀和（hé）尺寸的精密玻璃（lí）微結（jié）構。該方法使用整形（xíng）貝塞爾光束在玻璃內（nèi）部創建高（gāo）縱橫比的線形改性區域。這些改性線的蝕刻速率高於原始玻璃，並且可以沿著改性軌（guǐ）跡引導（dǎo）具有方向性的蝕刻去材過程，從而形成V槽結構。通過調控蝕刻速率比，可以在20至80度範（fàn）圍內精確調（diào）節V槽角度。將這些改性（xìng）線作（zuò）為基本單元相互連（lián）接，構建三維內（nèi）部改性區域，可以引導玻璃表麵形（xíng）貌（mào）的整體蝕刻演化（huà），最終實現具有可設計形狀和可調（diào）特征尺寸的微結（jié）構。該技術在加工各類精密結構化玻璃（lí）元件中展現出巨大潛力，可加工（gōng）用於光纖對準的（de）V槽陣列、用於光調製的閃耀光柵，以及具有複雜設（shè）計流道的微（wēi）流控芯片等。這一激光引導各向異性刻（kè）蝕方法有望推動高附加值結構化玻璃器件相關研（yán）究（jiū）和產業的進一步發展。
嘉賓介紹
徐少林博士，現任南方科技大學機械與能源工程係長聘副教授（研究員（yuán）），博士生導師，主要從事超快激（jī）光微納加（jiā）工及應用等相關研究。日本東北大學機械係統設計工程博士，曾任職於日本東（dōng）北大學工學研究科JSPS特（tè）別研究員和助（zhù）理教授，獲批主持2項日本學術振興會科研基金。中國光學學會激光加（jiā）工專業委員會委（wěi）員，中國機械工程學（xué）會極端（duān）製造分會委員，廣東（dōng）省（shěng）機（jī）械工程學會特種加工分會理事。學術研究上，首次提出激光誘導周期性納米結構自對準製造、逐像素偏振圖案化脈衝激光光刻等技術，實現了大麵積亞波長結構圖案化高效製造；工（gōng）業應用（yòng）上，開發了整形脈衝激光輔助蝕刻技術製備玻璃（lí）晶圓微通孔/微溝槽/微（wēi）透鏡等，與企業共建“激光精密製造與芯片先進封（fēng）裝”校（xiào）企聯合實驗室。近年來（lái）以通訊作（zuò）者身份發表高水平（píng）學術論（lùn）文40餘篇，獨立主持國家省市級及企業橫（héng）向項（xiàng）目10餘項。
