大矢高微透鏡陣列加工方法，超精密微透鏡陣列切削加工
　　超精密微（wēi）透鏡切削（xuē）加工工藝是微透鏡陣列加工的一種技術，接（jiē）近於微透鏡陣列光學冷（lěng）加工。主要用於大矢高微透鏡陣列，大數值孔徑微透鏡（jìng）陣列，大角度微透鏡陣列的加工製造。區別於光刻膠熱熔（róng）法，台階刻蝕法和激光直寫法等技（jì）術，微（wēi）透鏡超精密切（qiē）削（xuē）加工（gōng）技術能（néng）夠加工更精細的光學器件，加工得（dé）到的微透鏡麵（miàn）形精度和表麵質（zhì）量高，自由曲麵微結構加工（gōng）可行性得到保證。用微透（tòu）鏡超精密切削加工技術（shù）我司能做到的微透鏡陣列矢高範圍（wéi）為250nm-4mm，子單元口（kǒu）徑80μm-30mm，麵形誤（wù）差和ROC誤差為±0.5%，表（biǎo）麵粗糙度局部能夠（gòu）達到2-5nm，鏡片尺寸誤差達到±0.1mm。由此可（kě）見微透鏡超精密切削加工的精度優勢。許多大矢高的（de）快慢軸準直鏡便是（shì）用這（zhè）種（zhǒng）工藝製（zhì）造的。圖片
　　目前超（chāo）精密微透鏡切削加工工藝主要有三種，微銑刀銑削加工，慢刀進給伺服車削加工（STS）以及（jí）快刀伺（sì）服進給車削（xuē）加工（FTS）。微銑刀銑削加工常使用多軸超精密銑床，采用球頭微銑刀保證加工質量。STS加工及FTS加工常用刀具為單點金剛石刀具。不同在於（yú）STS是利用C,X,Z三軸聯動帶動刀具在工件圓柱坐標係內完成空間三維軌跡（jì）的創成運動（dòng）；FTS車削加工通過設計高頻響、高精度的刀具驅動裝置，在主軸角度及X軸導軌反饋的基礎上，控製刀具在主軸方向上（shàng）實時跟（gēn）蹤工件麵形的變化。用（yòng）微透（tòu）鏡陣（zhèn）列超精密切削加工切削技術暨微透鏡陣（zhèn）列光學冷加工技術加工出來的大（dà）矢高微透鏡陣列，大數值孔徑微透（tòu）鏡陣列和（hé）大角度微透鏡陣列可以統稱為（wéi）刀具法微透鏡陣列。圖片平（píng）麵刀具法微透鏡（jìng）陣列光學冷加工的工藝過程：（1）將（jiāng）工（gōng）件（jiàn）定位及裝夾，選用聚晶金剛石刀具並快速對刀；（2）用聚晶金剛石刀具加工基（jī）麵；（3）用聚晶金剛石刀（dāo）具初（chū）步微透鏡陣列加工，加工出工件形狀；（4）選用單晶金剛石刀具快速對刀後進行精加工，采用較低進給量率微（wēi）量切削，得到良好的表麵質量。
　　而（ér）曲麵刀具法（fǎ）微（wēi）透（tòu）鏡陣列光學（xué）冷加工的加工規劃（huá）除第二步（bù）是用聚晶刀加（jiā）工基曲麵外，其他均與平麵刀具法微（wēi）透鏡（jìng）陣列光（guāng）學冷加工工藝規劃相似（sì）。圖片以上便是微透鏡陣列光學冷加工技術，超精密微透鏡切削加工工藝的簡介。我司新產（chǎn）品MLA1刀具法微透鏡（jìng）陣列所（suǒ）應用的就是微透鏡超精密切削加工技術，以此來製造的大矢高微透鏡（jìng）陣列，大角度微透鏡陣列，大（dà）數值孔徑微（wēi）透鏡陣列的麵形精度和麵形質量極高。歡迎您谘詢了（le）解。參考文獻：[1]徐禮（lǐ）威（wēi）.微透鏡陣列超精密切削加（jiā）工技術研究[D].哈爾濱工業大學,2015.
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