淺聊半導體行業超精密加工
　　伴隨中國半導體設備的發展，對（duì）於我們的加工要求越來越高，過（guò）去我們加工（gōng）0.01mm的精度已經非常難了（le），但現在出現了很多零（líng）件加工，精度動不動要求幾個（gè）um，在（zài）這（zhè）種（zhǒng）情況下很多（duō）時（shí）候，我們靠普通設備，隻能通過人員的技術水平和經驗，做出來，但很難進（jìn）行（háng）穩定生產。也有很多朋友和客戶在向老易谘詢半（bàn）導體行業的加工，怎麽樣滿足半導體行業零件的超高精度要求。在這裏麵老易淺談一下半導體的超精密（mì）加工。
　　我們今天從人機料法環測六個維度分析，首先聲（shēng）明老易本人對於半導體行業接觸也不是特點多，更多的（de）是通過收集（jí）一些公（gōng）共信息和對於一些加（jiā）工認知寫的，對的大家點個讚轉發，錯的大家私聊老易（yì），給老易指出來。
　　機：對（duì）於超精密加工來說，首先最重要的一定是（shì）機了。裝備不行，我們水平再高也（yě）是巧（qiǎo）婦難為無米之炊。所以設備非常（cháng）重要，這（zhè）裏麵的設（shè）備老易在網上找到了一個我也認為比較公（gōng）正的文章。作為參考。這些設備應該都是半導體行業的超精密加工的設備。這些設備順序不是（shì）排位，隻是老易想到那就寫到（dào）那裏。
　　1.Mikron Mill P係列品（pǐn）牌+GF+這裏麵包括P係列的三軸機和P係列的五軸機。在24小時甚至更長加工時間中，為確保加工工件達到優於5微米的高精度，機床則需要達到更高的精密性。采用高剛性、溫度穩定的床身設計有效控製機床加工時的溫度和溫度變化，確保工件在長時間加工中變化小（xiǎo）於±3µm。同時該品牌的五軸（zhóu）機的轉台，有使用老易代理的德（dé）國派士樂五軸（zhóu）轉台。
　　2.德國羅德斯品牌：roeders 200年曆史（shǐ）企業，家族6代企業傳承，主要以超精密模具為主。大理石床身搭配直線電機和自己獨有的（de）控製係統，加工效率極高。羅（luó）德斯在（zài）歐洲為高速機之王，該（gāi）設備在模具行業擁（yōng）有大量（liàng）的客戶。
　　3.瑞士菲爾曼機床品牌FEHLMANN 1930年的家族企業，發展戰略以“專、細”為方向，為保證產品品質機床幾乎所有環節（含主（zhǔ）軸）都是以自己生產、研發（fā）、組裝為主。
　　4.德國（guó）科恩微（wēi）精技術有（yǒu）限公司品牌：KERN獨特大理石床身搭配靜浮導軌及（jí）直線電機，保證（zhèng）機床定位精度2um，重複定位精度（dù）1um。這個設備實際上在華南使用不多，但在（zài）華南的一（yī）個超級大廠裏麵有很多。
　　5.德國艾格索品牌exeron德國艾格索品牌以（yǐ）從模具放電及（jí）高端銑削為主。產（chǎn）品（pǐn）設計大膽前衛，床身采用高強（qiáng）度大理石龍門（mén）結構，大理石床身，線電機驅動完美機械力學性能，使（shǐ）加工工件達到最高精度和表麵質量要求（qiú）。另外這家公司的五軸機使用（yòng）的轉台（tái），就是（shì）老易代理的德國派士樂的。
　　6.牧野iQ係列品牌：makino iQ係（xì）列精密（mì）設備采用了先進的（de）直線電機設計，0.005微米級光柵尺反饋和無與倫比的元器件溫度控（kòng）製。主軸：45000，為了確保使（shǐ）用不同刀（dāo）具（jù）到達不同的加工表麵質量的匹配性，iQ3係列機床集成了專有的牧野混（hún）合自動刀具長度測量係統（HyATLM），確保滿足各（gè）種項目的需求！
　　7.日本（běn）雅司達（亞斯達）品牌：YASDA亞斯達開發（fā）了YMC430微中（zhōng）心，消除了滾珠主（zhǔ）軸並采用了直線電機。定（dìng）位精度為（wéi）0.1微米（mǐ）適用工（gōng）件：光學模具、透鏡模具、電池油料分離器模具、連接器（qì）模具、醫用（yòng）模具、衝頭模具、塑料或矽膠模具、齒輪、透鏡用小型（xíng）模架等。部分型號禁售中國
　　8.日本東（dōng）芝UVM-450C品牌：toshiba東芝高速精密加工中心裝載空氣靜壓主軸，0.01μm的高精度進給結構，0.002μm高分解能（néng）力的直線光柵尺、高精度直線導軌（guǐ）和直（zhí）線電驅動控製技術，是專門為光學配件加工機，半（bàn）導體關聯備件精密（mì）加工，超精密加工及其它，中小（xiǎo）型液晶顯示器用導光板模具加工
　　9.日本碌碌微細加工（gōng）機床品牌：ROKU-ROKU日（rì）本碌碌以“加（jiā）工藝術家”為著稱，在日本也稱機王。多用於半導（dǎo）體、芯片等微孔、石墨等超精密（mì）加工。
　　10.日本希村品牌（pái）HopHet希村超精密細微加工中心是1972年日本隱形冠軍株式會社打造的品牌。機身采用水循環冷卻結構大理石床身、三軸匹配直線電機（jī），42000高轉速，工件（jiàn）加工（gōng）精度一直穩定（dìng）2um，主要以（yǐ）半導體、光學模具行業為主。
　　除了上麵這10家外，我們的國內的設備也開始在（zài）超精密加工方麵在進步和突破，如深圳（zhèn）朗恩（ēn）精密的設備，也在超精密加（jiā）工方麵取得了突破。當然還有很多（duō）品牌也都在超精（jīng）密加工領域（yù）裏（lǐ）麵有建樹，這裏麵老易就不一一講述。但不（bú）管怎麽樣，目前這些全球超精度的設備（bèi）一般（bān）采用以下（xià）技術：
　　1.床身采用大理石床身技術，礦物鑄件（jiàn）的剛性，礦物鑄件的吸震性，礦物鑄件的熱穩定性。
　　2.采用直線電機，直線電機最大特點是其沒有間隙（xì），因此可以獲得更高的運動精度。
　　3.采用大量的冷卻技術，解決溫度對於機床部件的（de）影響，不管是鑄（zhù）鐵還是我們的大理石本質都會有（yǒu）變化，隻是大與小（xiǎo）的問題。
　　4.采用高精度的光柵，一定是全閉環的。而且精度（dù）級別高於更多通用的級別。
　　環：這個是指我們的加工環境，環境就包（bāo）括溫度、濕度、潔淨度、振動等等（děng）。
　　第一個是溫度。
　　對於我們的設備的使用環境都是有嚴格要求的，老易曾經前往一超（chāo）精密車間，車間裏麵就（jiù）有裏麵的米克朗設備和（hé）科（kē）恩設備，其設備都是放置在單獨的恒溫單元，並且采用了雙玻璃。高精度設備除了自身的溫度控製外，加工環境要求更高。
　　第二個是地基
　　我們很（hěn）多企業會忽視對於地（dì）基的要求，老（lǎo）易同樣參觀過一家采購了德國的高精度設備，其為了給這台設（shè）備做地基（jī），都用了幾個（gè）月，為什麽幾個月呢，因為之前做出來的地基沒有達到要求，造（zào）成了重作。對於地（dì）基（jī）不僅僅是承載能力、拉（lā）伸能力，還有隔振能力，需要將外（wài）部振動的隔斷設備地基外。
　　法：這個就是我們的工藝了。
　　當我們的設備選擇（zé）了，環（huán）境溫度也控製好了，地基也嚴格（gé）按照了設備廠家要求，這個時（shí）候就是加工工藝了。實際（jì）上所有的高精（jīng）度的產品加工時候，都（dōu）不（bú）可以一次做好，都是需要很多次的加工和（hé）熱處（chù）理，這個過程是為了將加工過程的材（cái）料變化，降到最低。所以如果（guǒ）您要做高精（jīng）度的（de）產品，一定要找（zhǎo）到懂從事高精度（dù）產品加工（gōng）的工藝（yì）人員。
　　測（cè）：就是我們的測量。
　　對於我們超精密加（jiā）工時候，如果我們都沒（méi）有辦法測出來時候，那麽我們怎麽知道我們的是否合格，或者怎麽優化。而這個測的級別就比我們的加工設備會更高。至（zhì）少需要高一個級別，我們才有可能測出來的。而我們（men）的（de）測量的設備更需要考慮前麵（miàn）講的（de）環境（jìng）。
　　上麵我們講了機、環、法、測這個四個維度，另（lìng）外的人和料同樣也會製約我們是否能夠保證達到精度，當然（rán）在料的（de）方麵，更多時候是客戶指定出來的。我們必須嚴格按照要求進行。當我們的加工（gōng）精度上到這個級別時候，可以每個要素（sù）都是需要（yào）錢的。要（yào）打造一個超精密加工，實際上需要用錢堆出來。