隨著科學技術的日益（yì）進步，超精密加工技術也得到了飛速發展，具有複雜麵型的微結構元件被廣泛地應用於（yú）軍事、高科技裝備、光纖通訊等諸多領域。這類元件結構（gòu）複雜，並且加工精（jīng）度要（yào）求很（hěn）高，用傳統的（de）加工方法已很難滿足加工需求。隨著技術的不斷進步，湧現出很多種超精密（mì）加工方法，能夠加工出滿足需求的微結構表麵，如光刻（kè）蝕加工、微細磨削加工、激光加（jiā）工、快刀伺（sì）服等。這些方法都有各自的優缺點，其（qí）中（zhōng）快刀伺服是比較經典的超精（jīng）密加工技術，是微結構（gòu）車削加工研究的（de）熱點之一。
快刀伺服加工是指在車削加工過程中，借助與安裝在Z軸上的（de）快刀伺服微進給機（jī）構驅（qū）動刀具作（zuò）高頻響、小幅值的軸向快速進給（gěi）運動（dòng），並與高（gāo）精度的回軸和徑向進給相配合，完成這個車（chē）削加工過程。與Z軸一般幾十赫茲的進刀頻率相比，快刀伺服微進給機構的進刀頻率可以（yǐ）達到（dào）幾千赫茲甚至更高，從而大大提高了加工效率。
與其它（tā）超精（jīng）密加工方式（shì）相比，快刀伺服車削加工技術具有高頻響、高效率的特點，一次加工就能夠得到高麵型精度的（de）複雜微結構表麵，適用於光學元件等微結構元件（jiàn）的高效優質加工。
快刀伺服車削加（jiā）工要求高頻響、高精（jīng）度（dù）的微進給，目前微（wēi）進給機構（gòu）的驅動方式主要以（yǐ）壓電（diàn）陶瓷驅動。壓電（diàn）陶瓷（cí）驅動的快刀伺服（fú）具有響應速度快、加速度高、頻響範（fàn）圍寬、易於控製等諸（zhū）多優點。
快刀伺服微進給機構是（shì）快刀伺服加工（gōng）係統中非常重要的部件，作為高速高精度位移輸（shū）出機構，其性能的好壞對（duì）快刀伺服（fú）加工的微結構表麵質量有直接影響（xiǎng）。芯明天科技（jì）設計研發的P92、P93係列壓電快速刀具定位器（qì），具有承載力大、響應速度快、頻率範圍寬、納米（mǐ）級精度的優點，是快刀伺服的首選產品。
芯明天壓電快刀定位器
芯（xīn）明天具有近20種專為快刀伺服微加工而設（shè）計的快（kuài）速刀具（jù）定位台，它們有著（zhe）位移（yí）、頻率、閉環方式、出力、驅動電壓、外觀結構等性能（néng）的差別（bié）。
在位移參數上，由十幾微米到百微米以上的行程範圍，不同的位（wèi）移下（xià）工作頻率也不同。
例如，芯明（míng）天P92.X20S快速刀具定位台，在18μm行程下，工作頻率可達95Hz；在9μm行程下，工作頻率可達190Hz；而在1μm行程下，工作（zuò）頻率達600Hz。
芯明天壓電快速刀具定位台有（yǒu）多種閉環（huán）方（fāng）式可選，如電（diàn）容式、電感式、應變式閉環，也可采用外部（bù）閉環的控製方式。閉環方式的不同影響著快速刀具（jù）定位台的控製精度、工作頻率及成（chéng）本等（děng）因素。
P92.X20係列快速刀具（jù）定位台
行程：18μm
驅動電壓：0~150V
承載能力：300g
閉（bì）環方式可選
P92.X25係（xì）列快速刀具定位台
行程：23μm
空載諧（xié）頻頻率：3000Hz
出力：1000N
閉環方式可選
P92.X40係列快速刀具定位台
行程：40μm
驅動電壓：0~1000V
出力：3000N
定製散熱（rè）孔
P92.X70係（xì）列快速刀具定位台
行程：75μm
定（dìng）位精度（dù）：0.01%F.S.
定製防塵防液滴型
閉環方（fāng）式可選
P93.X70係列快速刀具定位（wèi）台（tái）
行程：81μm
承載能力：20kg
分辨率：達3nm
閉環方式可選
芯明天快速刀具定位台應用案例（lì）
導光板加工（gōng）；
光學元件車削加（jiā）工；
P93快刀台與手調台結合超精（jīng）密加工；
定製散熱裝置的快速刀（dāo）具定位台。
