精密劃(huá)片機:晶圓(yuán)封測切割精密加工類設(shè)備,分砂輪劃片機和激光(guāng)劃片機(jī)
03-08-2023
精密劃片機:晶圓(yuán)封(fēng)測切割精密加工類設備(bèi),分砂輪劃(huá)片機和激光劃片機

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精密劃片機:晶圓封測切割精密加工類設備

半(bàn)導體基材關鍵,劃片(piàn)切割屬於精密(mì)加工。切割機是使用刀片(piàn),高精度地切斷矽、玻璃、陶瓷等被加工物的裝置,廣泛用於半導體晶片、EMC導線架、陶瓷薄板、PCB、藍寶石玻璃等材料的精密切割,其中半導(dǎo)體晶片切割機主(zhǔ)要用於封裝環節,是(shì)將含有很多芯片(piàn)的wafer晶圓(yuán)分割成一個一個晶片(piàn)顆粒的設備(bèi),例如用於LED晶片的分割,形成LED芯粒。

精密劃片機目前以(yǐ)砂輪機械切割為(wéi)主,激光是重要補充。劃片機主要包括砂輪劃片機和激光劃片機:

(1)砂輪(lún)劃片機是綜合了水氣電、空氣靜壓高速主軸、精密機械傳動、傳感器及自動化控製等(děng)技術的精密數(shù)控設備,在國內也稱為精密(mì)砂輪切割機。

(2)激光劃片機是利用高能激光束照射在工(gōng)件表麵,使被照射區域(yù)局部熔(róng)化、氣化、從而達到(dào)劃片的目(mù)的。

目前市場以砂輪劃片機為(wéi)主,主要是:

(1)激光切割不能使用大功率以免產生熱影響區(HAZ)破壞芯片。

(2)激光切割設備非常昂貴。

(3)激光切割不能做到(dào)一次切(qiē)透(因為HAZ問題),因而第二次切割還是用劃片刀來最終完成。
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