精密加工技術：超（chāo）精密導軌及空氣靜壓軸承技術

文章（zhāng）來源：中（zhōng）國通用技術（集團）控股有限（xiàn）責任公（gōng）司　　發布時間：2023-05-20

成果93：超精（jīng）密導（dǎo）軌及空（kōng）氣靜壓軸承技術

【所屬（shǔ）領域】關鍵零部件

【中央企業名稱】中國通用技（jì）術（shù）（集團）控股有限責任公司

【成果簡介 】

本成果麵向超精密加工技術與裝備需求，對兩類超（chāo）精密關鍵功能部件技術產品展（zhǎn）開攻堅（jiān）。開展了多孔質節流雙半球氣體靜壓（yā）軸承設計、製造及裝配工藝技術研究，掌握了超精密（mì）氣體靜壓（yā）主軸伺服控製技術。發明了一種全約束式超精密液（yè）體靜壓導（dǎo）軌單元結構，突破了雙膜片（piàn）節流型靜壓滑塊設計技術，掌（zhǎng）握了液體靜壓導軌裝配工藝和伺服控製技術。本成果技術（shù）難度大、創新性強，自主研製的超精密氣體靜（jìng）壓主軸和（hé）液體靜壓導軌（guǐ）總體上達到國際先進水平，其中液體靜壓導軌全行程直線度指標（biāo）達到國（guó）際領先（xiān）水平。

【主要指標】

（一）主軸回轉精度：≤25nm

（二）主軸轉速：≥3000r/min

（三）導軌直（zhí）線度：≤0.2μm/200mm

【應（yīng）用推廣需求】

（一）應用推廣方（fāng）式：銷售（shòu）、轉讓、合作實施、其他

（二）應（yīng）用推廣領域：航空航天、光學、半（bàn）導體、消費電子等領域中精（jīng）密光學元件、複雜（zá）結（jié）構件的超精密生產製造與檢測。 

【成果圖片】